東方晶源國內(nèi)首臺關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備（CD-SEM）出機(jī)中芯國際

近日，國內(nèi)半導(dǎo)體制造良率管理設(shè)備廠商東方晶源在北京總部舉行了國內(nèi)首臺關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備(CD-SEM)出機(jī)儀式，正式宣布斬獲訂單并出機(jī)中芯國際。東方晶源董事長俞宗強(qiáng)博士、總經(jīng)理蔣俊海先生，北京市經(jīng)信委、亦莊管委會、國家02專項以及東方晶源客戶、股東、投資方等代表出席了此次活動，共同見證了這一重要時刻。此次出機(jī)儀式，標(biāo)志東方晶源繼2019年攻克電子束缺陷檢測技術(shù)后，再一次取得了重大產(chǎn)品技術(shù)突破，填補了國內(nèi)關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備(CD-SEM)的市場空白。

據(jù)悉，此次出機(jī)的關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備(型號：SEpA-c410)面向300mm硅片工藝制程，通過先進(jìn)的電子束成像系統(tǒng)和高速硅片傳輸方案，搭配精準(zhǔn)的量測算法，可實現(xiàn)高重復(fù)精度、高分辨率及高產(chǎn)能的關(guān)鍵尺寸量測。進(jìn)駐中芯國際后，將通過實際產(chǎn)線驗證，進(jìn)一步提升、完善設(shè)備性能，向產(chǎn)業(yè)化目標(biāo)整體邁進(jìn)。

中芯國際是世界領(lǐng)先的集成電路晶圓代工企業(yè)之一，也是中國內(nèi)地技術(shù)最先進(jìn)、配套最完善、規(guī)模最大的集成電路制造企業(yè)集團(tuán)，提供0.35微米到14納米不同技術(shù)節(jié)點的晶圓代工與技術(shù)服務(wù)，在先進(jìn)制程探索、設(shè)備多元化方面等方面走在行業(yè)前列。東方晶源繼首臺電子束缺陷檢測設(shè)備進(jìn)駐中芯國際產(chǎn)線后，首臺關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備能夠進(jìn)入中芯國際12英寸產(chǎn)線驗證，說明其研發(fā)實力已獲得行業(yè)高度認(rèn)可，是我國集成電路制造自主可控的重要組成。

東方晶源自成立以來，專注于芯片制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)的良率控制和提升領(lǐng)域。在北京市經(jīng)信委、亦莊管委會、合作伙伴和投資方的共同支持下，不斷取得重要產(chǎn)品技術(shù)突破，公司旗下計算光刻系列軟件(OPC)、電子束缺陷檢測設(shè)備(EBI)均已經(jīng)過國際大廠產(chǎn)線驗證并實現(xiàn)訂單收入，在國產(chǎn)化設(shè)備領(lǐng)域取得了矚目的成績。此次出機(jī)，東方晶源在良率控制產(chǎn)品線添加了至關(guān)重要的一環(huán)，也解決了我國在芯片制造領(lǐng)域中又一項“卡脖子”難題。中芯國際與東方晶源作為各自領(lǐng)域的優(yōu)秀代表，進(jìn)一步加強(qiáng)了戰(zhàn)略合作關(guān)系，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游產(chǎn)研與應(yīng)用合作的典范。

目前，半導(dǎo)體設(shè)備市場主要被國外巨頭壟斷，行業(yè)集中度很高，是我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)被“卡脖子”的關(guān)鍵所在，因此國產(chǎn)化替代對國家科技創(chuàng)新的意義重大。東方晶源俞宗強(qiáng)董事長表示：國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的快速發(fā)展，除了國家政策、研發(fā)資金、人才培養(yǎng)等方面的大力投入，更需要晶圓代工廠的實際使用和驗證完善。目前，東方晶源已經(jīng)和國內(nèi)大部分有市場影響力的晶圓代工企業(yè)建立了合作關(guān)系。未來，希望更多的晶圓代工企業(yè)對國產(chǎn)設(shè)備廠商保持更加開放的心態(tài)，為優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)芯片設(shè)備供應(yīng)商提供可以驗證技術(shù)、實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的平臺，共同攜手突破國外技術(shù)壟斷，推動我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈實現(xiàn)全面自主可控，配合國家實現(xiàn)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的戰(zhàn)略布局。

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