JEOL推出高精度和高分辨率的FIB-SEM系統(tǒng)“JIB-PS500i”

JEOL Ltd. (TOKYO:6951)（總裁兼首席執(zhí)行官：Izumi Oi）宣布于2023年2月1日推出FIB-SEM系統(tǒng)“JIB-PS500i”。

FIB-SEM 系統(tǒng)“PS500i”（照片：美國(guó)商業(yè)資訊）

(相關(guān)資料圖)

隨著先進(jìn)材料結(jié)構(gòu)愈發(fā)精細(xì)化和工藝愈發(fā)復(fù)雜化，形態(tài)觀察、元素分析等評(píng)價(jià)技術(shù)對(duì)分辨率和精度提出了更高的要求。在半導(dǎo)體行業(yè)、電池和材料領(lǐng)域，在為透射電子顯微鏡(TEM)制備樣品時(shí)需要“更高的精度”和“更薄的樣品”。本產(chǎn)品是可高精度加工的FIB（聚焦離子束）系統(tǒng)和高分辨率SEM（掃描電子顯微鏡）的組合系統(tǒng)，可滿足上述要求。

主要特性

FIB鏡筒支持高達(dá)100nA的大電流鎵離子束加工。大電流加工對(duì)制備用于大面積成像和分析的截面樣品特別有效。此外，F(xiàn)IB鏡筒的工作距離更短。加上新開發(fā)的電源，低加速電壓下的加工性能得到極大的改善。

SEM鏡筒內(nèi)置新開發(fā)的超級(jí)圓錐透鏡系統(tǒng)，大大提高了低加速電壓下的圖像分辨率。這種出色的成像性能對(duì)于利用SEM檢查薄片樣品的端點(diǎn)研磨狀態(tài)非常有用。

JIB-PS500i采用了大型樣品室和新開發(fā)的樣品平臺(tái)，增加了平臺(tái)的移動(dòng)范圍，因此可以容納大型樣品。此外，新開發(fā)的STEM檢測(cè)器可以在平臺(tái)傾斜90度時(shí)使用，支持從TEM樣品制備到STEM觀察的無縫過渡。

圖形界面操作采用了在JSM-IT800系列高分辨率掃描電子顯微鏡中廣受好評(píng)的“SEM中心”，全面集成EDS分析。

雙軸傾斜盒和專用TEM支架可實(shí)現(xiàn)更精確的對(duì)準(zhǔn)，同時(shí)使樣品更容易在TEM和FIB之間的切換。

銷售目標(biāo)50臺(tái)/年

產(chǎn)品URL：https://www.jeol.com/products/scientific/fib/JIB-PS500i.php

JEOL Ltd.3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, JapanIzumi Oi，總裁兼首席執(zhí)行官（股票代碼：6951，東京證券交易所主板市場(chǎng)）www.jeol.com

原文版本可在businesswire.com上查閱：https://www.businesswire.com/news/home/20230123005841/en/

關(guān)鍵詞： 高分辨率 掃描電子顯微鏡 加速電壓 首席執(zhí)行官 加工性能